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本文介紹了一套新研制的擴散真空泵性能的自動測試系統(tǒng)。該系統(tǒng)可

以按照國家標準規(guī)定的方法自動檢測擴散真空泵的極限壓力和抽速。

系統(tǒng)利用自主開發(fā)的光電液位檢測方法和元件實現(xiàn)滴管液位的自動讀

取和記時；利用步進電機驅(qū)動針閥實現(xiàn)氣體流量和測試罩內(nèi)壓力的自

動調(diào)節(jié)；使用上位PC機和下位單片機的雙級控制系統(tǒng)實現(xiàn)對整個測試

系統(tǒng)和測試過程的自動控制。

    作為應(yīng)用最廣的高真空抽氣設(shè)備，油擴散泵在國內(nèi)的生產(chǎn)、研究

方面已達到相當?shù)募夹g(shù)水平和一定的生產(chǎn)規(guī)模，被廣泛應(yīng)用于機械、

電子、冶金、原子能、空間模擬等工業(yè)領(lǐng)域和科學(xué)技術(shù)研究中，為我

國的科技發(fā)展做出了顯著的貢獻。近幾年來,國內(nèi)擴散泵產(chǎn)品從外觀

、功能到性能都有了較大的進展。

    相對于擴散真空泵的生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量和生產(chǎn)總量來說，國內(nèi)擴散泵在產(chǎn)

品性能檢測方面還相對落后。目前很多企業(yè)尚沒有自己的性能測試系

統(tǒng)，對泵產(chǎn)品在出廠前的性能指標缺乏實際檢測。國內(nèi)現(xiàn)有的相關(guān)檢

測系統(tǒng)都采用全手動操作方式，對操作人員有較高的專業(yè)知識和實驗

技能要求，需經(jīng)過專門培訓(xùn)才能勝任此項工作，而且測試數(shù)據(jù)精度受

許多人為因素的影響，這些都為生產(chǎn)廠家自己獨立開展擴散泵性能測

試增加了難度。

    針對這一現(xiàn)狀，本文研制了一套擴散真空泵性能的自動測試系統(tǒng)

。下面將就該系統(tǒng)的測試原理、系統(tǒng)的硬件與軟件構(gòu)成、研制過程所

遇到的技術(shù)難點和解決措施作以介紹。
     1、自動測試系統(tǒng)的測試原理

    該套測試系統(tǒng)對擴散泵的極限壓力和不同入口壓力下的抽速曲線

的測試原理與方法，完全參照相關(guān)國家標準的規(guī)定執(zhí)行。其中擴散泵

抽速曲線的自動檢測，采用“定壓法”原理測試。對應(yīng)每一個測壓點

的測試步驟是：在工作閥開啟的條件下，利用針閥調(diào)節(jié)充入測試罩的

氣體流量Q，使測試罩內(nèi)的平衡壓力p穩(wěn)定在預(yù)期的壓力值附近；關(guān)閉

工作閥，依次記錄滴管內(nèi)液柱到達液位高度h1和h2的時間t1和t2；通

過計算液柱凈升高度h=h2-h1和上升所需時間t=(t2-t1)，利用下式求

得對應(yīng)壓力下的體積流率，即抽速。

   S=Q/P=Kh/Pt

    式中S———被測真空泵抽氣速率，L/s
    Q———流過泵口的氣體流量，Pa•L/s
    p———測試罩內(nèi)規(guī)定位置的平衡壓力，Pa
    h———滴管內(nèi)液柱上升凈高度，mm
    t———滴管內(nèi)液柱上升所需時間，s
    K———滴管函數(shù)，Pa•L/mm。

    根據(jù)上述公式可知：要想計算出抽速S，需要已知對應(yīng)測壓點的K

、h、p和t。其中，滴管函數(shù)K可以根據(jù)不同的滴管和連接管道尺寸，

結(jié)合實際的測試工況事先計算出來；因此，實際需要讀取的只有測試

罩指定位置平衡壓力p、滴管內(nèi)液柱凈升高度h和液柱凈升高度h所需

時間t三個量。該套測試系統(tǒng)所具有的自動測試功能，主要是指工作

閥采用電磁閥自動開啟關(guān)閉；針閥完成流量調(diào)節(jié)的過程采用步進電機

驅(qū)動，并根據(jù)罩內(nèi)實測壓力與預(yù)設(shè)壓力的對比進行反饋控制；利用光

電液位開關(guān)測定滴管內(nèi)液位到達設(shè)定位置h1和h2高度處的時間t1和t2

。整個測試過程，以及之后的抽速計算、結(jié)果輸出工作，均由計算機

自動控制完成，只是在更換滴管和連接管路的過程中需要操作人員手

工作業(yè)。
     2、自動測試系統(tǒng)的硬件構(gòu)成

    2.1、機械部分構(gòu)成

    該測試系統(tǒng)機械部分的主體設(shè)計方案基于國家標準的詳細規(guī)定。

上海正奧泵業(yè)制造有限公司主要由測試罩、提升機構(gòu)、前級閥、預(yù)抽閥、

工作閥、放氣閥、微調(diào)閥、滴管、光電液位開關(guān)、貯液槽、臺車和真空管路

等組成，被測主泵為K-200型油擴散泵，前級為2X-4型旋片泵。

    考慮到該實驗臺的主要用途是服務(wù)于東北大學(xué)過程裝備與控制工

程專業(yè)本科生的真空實驗教學(xué)，所以在結(jié)構(gòu)和功能上有所改動、擴展

。對應(yīng)K-200型油擴散泵，本應(yīng)選用直徑為200mm的測試罩，但考慮其

它教學(xué)實驗用途，本系統(tǒng)使用了直徑為400mm的測試罩，中間加裝錐

形過渡接口和插板閥與被測擴散泵相連。這些會導(dǎo)致管道流導(dǎo)的增加

，從而使真空泵的抽速測定值降低，但不影響測試系統(tǒng)的工作原理和使用

方法。在測試罩上還留有兩個真空規(guī)管接口、一個前級閥接口、一個

微調(diào)閥進氣口、頂端留有放氣口，以及連接其他真空測試儀器的兩個

備用接口。提升機構(gòu)可以將測試罩提起，方便主泵的更換和其它教學(xué)

實驗的完成�？紤]到要實現(xiàn)自動控制，所有的閥門均選擇電磁驅(qū)動。

此外，根據(jù)實驗需要，還專門訂制了內(nèi)徑分別為1.5、3、5、10、20

、30、50mm的一系列滴管。