選用真空泵時(shí)應(yīng)特別注意到9個(gè)事項(xiàng)
發(fā)布時(shí)間:2011-3-11 9:35:08 | 閱讀次數(shù):1075次
1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿(mǎn)足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)
要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的
真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備
真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)
范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的
抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-
6mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在
10-8mmHg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其
工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)
生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有
時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充
才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,
而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一
定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另
外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出
口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該
選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵
等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,
如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆;
塵,有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽
氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,
應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允
許有污染,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若
工藝過(guò)程不允許,上海正奧泵業(yè)制造有限公司應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。水環(huán)式真空泵的選擇